"Chemie mit Lasern an Oberflächen: Dynamik, Epitaxie und Nanostrukturierung". (Quelle: Süddeutsche Online)
Für die Mikrosystemtechnik wichtige Technologien zur Schichtherstellung sind die Epitaxie sowie CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) und PVD-Verfahren (Physical Vapor Deposition). (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Die Leckströme von Bipolartransistoren, Diodenstrukturen und Leistungs-MOSFETs gegenüber dem Substrat der SPT-Technologie lassen sich als Diodenströme zwischen Epitaxie/Buried Layer und Substrat auffassen. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
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