Dieses Beschießen der Elektrode mit Edelgas, bei dem später das erhoffte chemische Produkt entsteht, nennt man Sputtern. (Quelle: DIE WELT 2001)
Ein neues Verfahren - das so genannte reaktive Sputtern - ermöglicht nun eine "Hochratenbeschichtung", bei der vergleichsweise wenig Materialkosten entstehen. (Quelle: DIE WELT 2001)
Durch Abtragen (Sputtern) der Oberfläche mit Argonionen können Elementtiefenanalysen mit einer Tiefenauflösung von 0,5 bis 10 nm erstellt werden. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)